Tres métodos típicos de preparación de CVD diamante

1 HFCVD

Es Los primeros métodos de síntesis de diamante CVD en la historia. El equipo tiene estructura simple, Operación conveniente, bajo costo de inversión. La tasa de crecimiento rápido del diamante es las características tecnológicas con un amplio rango de parámetros sedimentarios y no un comando estricto. Puede obtener la película de diamante con un área más grande, fácil de realizar la producción industrializada, por lo que el método HFCVD es el más aplicado.

2 DC-PJ CVD

Su característica principal es la alta tasa de deposición, que se informa que es de hasta 1000 m/h. El dispositivo tiene la tasa de deposición más alta y el área de deposición más grande entre todos los métodos.

3 MPCVD microondas Plasma CVD

Este tipo de equipo es actualmente el más popular en el mercado, y puede sintetizar productos de diamante de alta pureza. Sus características principales son alta densidad de electrones, alta concentración de H atómico, sin contaminación de electrodos. El plasma estable se puede producir bajo alta presión, y el diamante CVD es de alta calidad.

Método de microondas puede preparar Diamante de gran superficie y alta calidad, que es el método más ideal para preparar diamante artificial en el futuro. Este método se ha aplicado bien, como el capó de misiles, la ventana óptica infrarroja, etc. El Método del CVD del microondas puede preparar el diamante del CVD del alto grado y puede ser utilizado como diamantes y otras decoraciones después del proceso cuyo precio es solamente una cuarta parte del diamante natural.